电阻测试仪的原理及使用方法

一、阻值公测仪公测机理：

当三根金屬测试探针排成小条直线方程,即为一 定学习压力压在半导体设备村料上时,在1, 4多根探头间根据电压I,则2, 3检测器间造成电势差差V(下图如图)。

依据工式可统计出物料的内阻率:

这当中,C为四电极的电极弹性系数(cm),它的大小不一决定于很多根检测器的布置工艺和针距。

二、议器进行:

(一)考试的备好:

1 ,将主机电压适配器插头线添加分析仪器侧面的主机电压适配器电插座主机电压适配器触点开关至于重连具体位置;

2,工做方式英文开关按钮放置到＇过压"地段电流大小电开关始终处于跳出来地段;

先将电源线旋钮置入关掉定位,同量选取打开至于“过压”,现身数字9显视,通电发动机预热半H。

3,将手动式试验架的关闭线电源插座与电=气箱的輸入插排衔接好;

4,对自测样本来进行务必的除理(如喷沙,清潔等);

5,缓解窒内温及气温使之实现检查追求。

(二)测量:

先将电源模块转换启闭置放进入设置具体位置校正选用转换启闭置放"短路故障" ,显现数值体现 ，通电打火半每小时.

1,放下去印刷品压下探失，将衡量选取开防范于”刻量”所在位置，板性开防范于电开关上面;

2.会选择应当的电压电压电流示值和电压电流示值，加数表明基础为0000”,著末位有想法字,可电动机调零调低能好使之彰显为0000"; .

3.将工作任务方式方法控制开关置放"1调准"轻按电流量按钮开关.资动电压电流的调节旋纽,使数码体现为"1000”读指标值各电流值满示值的满满示值值;

4.再将性开笑压F.便数显式也为1000+1,温出电源适配器按钮将事情形式按钮居于1或06.28处(红外探头问距为1.59mm时移至1座位问距为1mm时放置到6.28所在位置):

《师节直流电压后。下列步疆在之前的肉量中是不必抄袭:主要可以调节好后，接下来直流电按钮开关,可由政显真接读出侧量值)

5.若数显压力表爐灭,仅剿”1"指出高于该测量范围电阻值,可将工作电压量理旋转开关拨到档位;

6,读数后，将性转换开关拨至其它方,可读出负性时的魔量值，将三次估测值取分別数仅以打样定制在该处的内阻率值。

三、特别留意装修细节:

1.压下深头时阻力要合理,避免想坏测试探针。

2.因此土样面电阻器可松分布点欠佳,8量时要对某个供试品多测以下几个点并且取分別置:

3.试样的现实的内阻率还两者薄厚关以,还需查时中的厚魔测量案数，进行惨正